DIELEKTRISCHER KAMM FÜR MEMS-VORRICHTUNG

Mikrofone umfassen ein Gehäuse, das eine Kavität definiert, eine Vielzahl von Leitern, die innerhalb der Kavität angeordnet sind, wenigstens einen dielektrischen Stab, der innerhalb der Kavität angeordnet ist, und eine Wandler-Membran. Die Leiter sind so strukturiert, dass sie sich als Reaktion auf Druckänderungen bewegen, während das Gehäuse fixiert bleibt. Ein erster Leiter erzeugt erste elektrische Signale als Reaktion auf die Druckänderungen, die sich aus Änderungen des Atmosphärendrucks ergeben. Ein zweiter Leiter erzeugt zweite elektrische Signale als Reaktion auf Druckänderungen, die sich aus akustischer Aktivität ergeben. Der dielektrische Stab ist in Bezug auf die Kavität fixiert und bleibt unter den Druckänderungen fixiert. Der dielektrische Stab befindet sich neben wenigstens einem der Leiter. Als Reaktion auf einen angelegten Druck, der ein atmosphärischer Druck und/oder ein akustischer Druck ist, übt die Membran des Wandlers eine Kraft auf das Gehäuse aus und verschiebt wenigstens einen Abschnitt der Leiter in Bezug auf den dielektrischen Stab. Microphones including a housing defining a cavity, a plurality of conductors positioned within the cavity, at least one dielectric bar positioned within the cavity, and a transducer diaphragm. The conductors are structured to move in response to pressure changes while the housing remains fixed. A first conductor generates first electrical signals responsive to the pressure changes resulting from changes in an atmospheric pressure. A second conductor generates second electrical signals responsive to the pressure changes resulting from acoustic activity. The dielectric bar is fixed with respect to the cavity and remains fixed under the pressure changes. The dielectric bar is adjacent to at least one of the conductors. In response to an applied pressure that is an atmospheric pressure and/or an acoustic pressure, the transducer diaphragm exerts a force on the housing and displaces at least a portion of conductors with respect to the dielectric bar.