FLOATING-GATE-ABSTANDSHALTER ZUR STEUERUNG EINER SOURCE-BEREICHSBILDUNG IN EINER SPEICHERZELLE

Verfahren zum Ausbilden einer Speicherzelle einer Halbleitervorrichtung, wobei das Verfahren aufweist:Ausbilden eines Floating-Gates (304) über einem Substrat (302);Ausbilden eines Oxidbereichs (306) über dem Floating-Gate (304), wodurch eine aufwärts zeigenden Floating-Gate-Spitze (320) des Floatin...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Hymas, Mel, Walls, James, Kabeer, Sajid
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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