Ladungsträgerstrahlvorrichtung und Achseneinstellverfahren dafür

Eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung wird geschaffen, in der eine Achseneinstellung als eine Überlagerungslinse durch Ausrichten einer Achse einer elektrostatischen Linse, die aus einem elektrischen Verzögerungsfeld resultiert, auf eine Achse einer Magnetfeldlinse ermöglicht wird. Die Ladungsträgerst...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Takahoko, Yoshihiro, Sasajima, Masahiro, Imai, Yuta
Format: Patent
Sprache:ger
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