Ladungsträgerstrahlvorrichtung und Achseneinstellverfahren dafür

Eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung wird geschaffen, in der eine Achseneinstellung als eine Überlagerungslinse durch Ausrichten einer Achse einer elektrostatischen Linse, die aus einem elektrischen Verzögerungsfeld resultiert, auf eine Achse einer Magnetfeldlinse ermöglicht wird. Die Ladungsträgerstrahlvorrichtung enthält Folgendes: eine Elektronenquelle 2; eine Objektivlinse 4, die einen Sondenelektronenstrahl von der Elektronenquelle auf eine Probe fokussiert; eine erste Strahlröhre 8 und eine zweite Strahlröhre 9, durch die jeweils der Sondenelektronenstrahl verläuft; eine Verzögerungselektrode 10, die zwischen der ersten Strahlröhre 8 und einer Probe 12 angeordnet ist; eine erste Spannungsquelle 15, die ein elektrisches Verzögerungsfeld für den Sondenelektronenstrahl zwischen der ersten Strahlröhre 8 und der Verzögerungselektrode 10 durch Anlegen eines ersten Potentials an die erste Strahlröhre 8 bildet; und einen ersten Bewegungsmechanismus 11, der eine Position der ersten Strahlröhre 8 bewegt. A charged particle beam device is provided in which axis adjustment as a superimposing lens is facilitated by aligning an axis of an electrostatic lens resulting from a deceleration electric field with an axis of a magnetic field lens. The charged particle beam device includes: an electron source; an objective lens that focuses a probe electron beam from the electron source on a sample; a first beam tube and a second beam tube through each of which the probe electron beam passes; a deceleration electrode arranged between the first beam tube and a sample; a first voltage source that forms a deceleration electric field for the probe electron beam between the first beam tube and the deceleration electrode by applying a first potential to the first beam tube; and a first moving mechanism that moves a position of the first beam tube.