Ladungsträgerstrahlvorrichtung und Verfahren zum Einstellen der Position eines Detektors einer Ladungsträgerstrahlvorrichtung

Ladungsträgerstrahlvorrichtung, die Folgendes umfasst:eine Elektronenquelle (2);eine Objektivlinse (4), die konfiguriert ist, einen Sondenelektronenstrahl von der Elektronenquelle (2) auf eine Probe (12) zu fokussieren;eine Beschleunigungselektrode (3), die konfiguriert ist, den Sondenelektronenstrahl zu beschleunigen;einen ersten Detektor (6), der in der Beschleunigungselektrode (3) vorgesehen ist;eine Verzögerungselektrode (5), die konfiguriert ist, ein elektrisches Verzögerungsfeld für den Sondenelektronenstrahl mit der Beschleunigungselektrode (3) zu bilden, wobei der Sondenelektronenstrahl konfiguriert ist, durch eine Öffnung der Verzögerungselektrode (5) zu verlaufen; undeinen zweiten Detektor (7), der zwischen der Verzögerungselektrode (5) und der Probe (12) eingesetzt ist, wobeider zweite Detektor (7) einen Öffnungsabschnitt (9), der größer als die Öffnung der Verzögerungselektrode (5) ist, enthält und eine Erfassungsfläche (8) um den Öffnungsabschnitt (9) vorgesehen ist. In a charged particle beam device including a deceleration optical system, a change in a deceleration electric field and an axis shift due to a structure between an objective lens and a sample are prevented to reduce adverse effects on an irradiation system and detection system. The charged particle beam device includes an electron source, an objective lens configured to focus a probe electron beam from the electron source on the sample, an acceleration electrode configured to accelerate the probe electron beam, a first detector provided in the acceleration electrode, a deceleration electrode configured to form a deceleration electric field for the probe electron beam with the acceleration electrode, the probe electron beam being configured to pass through an opening of the deceleration electrode, and a second detector inserted between the deceleration electrode and the sample. The second detector includes an opening portion larger than the opening of the deceleration electrode, and a sensing surface is provided around the opening portion.