Polychromatorsysteme

Ein Polychromatorsystem, umfassend:ein optisches Element (110), das eine trapezförmige Blende (111) definiert;einen Kollimationsspiegel (120) zum Empfang von Licht über die trapezförmige Blende (111) und zur Reflexion von im Wesentlichen kollimiertem Licht;wenigstens eine erste dispersive optische Komponente (130) und eine zweite dispersive optische Komponente (132), die jeweils so konfiguriert sind, dass sie das von dem Kollimationsspiegel (120) empfangene, im Wesentlichen kollimierte Licht für verschiedene Wellenlängen in unterschiedlichem Umfang dispergieren und quer dispergiertes Licht mit unterschiedlichen Lichtwellenlängen, das entlang einer ersten und zweiten Achse beabstandet ist, bereitstellen; undeinen Fokussierspiegel (140), der so positioniert ist, dass er das quer dispergierte Licht auf einen 2-D-Matrix-Detektor (150) fokussiert, um eine Vielzahl von Blendenbildern der Blende auf einer entsprechenden Vielzahl von Bereichen des Detektors (150) zu erzeugen, wobei jedes der Vielzahl von Blendenbildern einer entsprechenden Wellenlänge des quer dispergierten Lichts zugeordnet ist;wobei entweder der Kollimationsspiegel (120) oder der Fokussierspiegel (140) oder beide ein Freiformspiegel mit einer reflektierenden Oberfläche ist/sind, die so konfiguriert ist, dass sie die Auswirkungen von optischen Aberrationen des Polychromatorsystems über eine Vielzahl von Wellenlängen des quer dispergierten Lichts entlang der ersten und der zweiten Achse mildert und dadurch die Auflösung der Vielzahl von Blendenbildern, die der Vielzahl der Wellenlängen entlang der ersten und der zweiten Achse zugeordnet sind, optimiert;wobei Winkel der trapezförmigen Blende (111) so ausgelegt sind, um zumindest für Licht mit einer Wellenlänge von 213,857 nm ein rechteckiges Bild am Detektor (150) zu erzeugen. A polychromator system comprising: an optical element defining an aperture; a collimation mirror for receiving light via the aperture and reflecting substantially collimated light; at least a first dispersive optical component and a second dispersive optical component, each configured to disperse the substantially collimated light received from the collimation mirror by different amounts for different wavelengths and to provide cross-dispersed light having different wavelengths of light spaced along a first and second axis; and a focus mirror positioned to focus the cross-dispersed light onto a 2-D array detector to provide a plurality of aperture images of the aperture at a