Vakuumpumpe und Steuerungsverfahren dafür

Vakuumpumpe (100), aufweisend:einen Pumpenhauptkörper (10) miteiner rotierende Welle (11s) undeinem Metallgehäuseteil (131),einen ersten Temperatursensor (41), der am Gehäuseteil (131) angebracht ist und eine Temperatur des Gehäuseteils (131) erfasst;einen Motor (20), der umfassteinen Rotorkern (21) mit einem Permanentmagneten (M), der an der Drehwelle (11 s) befestigt ist,einen Statorkern (22) mit mehreren Spulen (C) undeine Dose (23), die den Rotorkern (21) aufnimmt; und eine Steuereinheit (30), die umfassteine Treiberschaltung (31), die die mehreren Spulen (C) mit einem Treibersignal zum Drehen des Motors (20) auf der Grundlage einer voreingestellten induzierten Spannungskonstante versorgt, undeine Korrekturschaltung (331), die die induzierte Spannungskonstante auf der Grundlage eines Ausgangs des ersten Temperatursensors (41) korrigiert, wobeidie Korrekturschaltung (331) die induzierte Spannungskonstante derart korrigiert, dass eine induzierte Spannung des Motors (20) mit steigender Temperatur des Gehäuseteils (131) niedriger wird, wenn die Temperatur des Gehäuseteils (131) innerhalb eines vorgegebenen Temperaturbereichs liegt, und wobeidie Korrekturschaltung (331) die induzierte Spannungskonstante gemäß einer ersten Näherungsgeraden (AP1) mit einem ersten Temperaturgradienten korrigiert, wenn die Temperatur des Gehäuseteils (131) gleich oder höher als eine erste Temperatur ist und niedriger als eine zweite Temperatur ist, und die induzierte Spannungskonstante gemäß einer zweiten Näherungsgeraden (AP2) mit einem zweiten Temperaturgradienten korrigiert, der sich von dem ersten Temperaturgradienten unterscheidet, wenn die Temperatur des Gehäuseteils (131) gleich oder höher als die zweite Temperatur ist und niedriger als eine dritte Temperatur ist. A vacuum pump according to an embodiment of the present invention includes a pump main body, a first temperature sensor, a motor, and a control unit. The pump main body includes a rotary shaft and a metal casing portion. The first temperature sensor is attached to the casing portion and detects a temperature of the casing portion. The motor includes a rotor core including a permanent magnet and attached to the rotary shaft, a stator core including a plurality of coils, and a can that houses the rotor core. The control unit includes a driving circuit and a correcting circuit. The driving circuit supplies the plurality of coils with a driving signal for rotating the motor on a basis of a pre-set induced voltage c