WÄRMEABSCHIRMBAUTEIL, EINKRISTALL-ZIEHVORRICHTUNG UND VERWENDUNG DERSELBEN ZUR HERSTELLUNG EINES SILICIUM-EINKRISTALL-INGOTS
Wärmeabschirmbauteil (1), das in einer Einkristall-Ziehvorrichtung (100) für das Ziehen eines Silicium-Einkristall-Ingots (I) aus einer Siliciumschmelze (M), die in einem Quarztiegel (52a) enthalten ist und mit einer Heizung (54), die um den Tiegel (52a) herum angebracht ist, erhitzt wird, vorgesehe...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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