WÄRMEABSCHIRMBAUTEIL, EINKRISTALL-ZIEHVORRICHTUNG UND VERWENDUNG DERSELBEN ZUR HERSTELLUNG EINES SILICIUM-EINKRISTALL-INGOTS

Wärmeabschirmbauteil (1), das in einer Einkristall-Ziehvorrichtung (100) für das Ziehen eines Silicium-Einkristall-Ingots (I) aus einer Siliciumschmelze (M), die in einem Quarztiegel (52a) enthalten ist und mit einer Heizung (54), die um den Tiegel (52a) herum angebracht ist, erhitzt wird, vorgesehe...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Kuragaki, Shunji, Tanabe, Kazumi, Kajiwara, Kaoru, Suewaka, Ryota
Format: Patent
Sprache:ger
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