Verfahren zur Herstellung von periodischen Polarisationsinversionsstrukturen

Verfahren zur Herstellung von periodischen Polarisationsinversionsstrukturen in einem ferroelektrischen Kristallsubstrat (1) mit einer ersten Hauptfläche (1a) und einer zweiten Hauptfläche (1b), wobei das Verfahren die Schritte umfasst:Bereitstellen von ersten Elektrodenstückteil-Gruppierungen (2A),...

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Hauptverfasser: Yamaguchi, Shoichiro, Hattori, Ryosuke, Shimokata, Hidetsugu
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Verfahren zur Herstellung von periodischen Polarisationsinversionsstrukturen in einem ferroelektrischen Kristallsubstrat (1) mit einer ersten Hauptfläche (1a) und einer zweiten Hauptfläche (1b), wobei das Verfahren die Schritte umfasst:Bereitstellen von ersten Elektrodenstückteil-Gruppierungen (2A), die jeweils eine Mehrzahl von Elektrodenstückteilen (3) umfassen, auf der ersten Hauptfläche (1a) des ferroelektrischen Kristallsubstrats (1);Bilden von ersten periodischen Polarisationsinversionsstrukturen (5A) durch Anlegen einer Spannung an die ersten Elektrodenstückteil-Gruppierungen (2A);Bereitstellen von zweiten Elektrodenstückteil-Gruppierungen (2B), die jeweils eine Mehrzahl von Elektrodenstückteilen (3) umfassen, zwischen einer Mehrzahl der ersten periodischen Polarisationsinversionsstrukturen (5A), die aneinander angrenzen; undBilden von zweiten periodischen Polarisationsinversionsstrukturen (5B) durch Anlegen einer Spannung an die zweiten Elektrodenstückteil-Gruppierungen (2B),wobei die zweiten periodischen Polarisationsinversionsstrukturen (5B) nach den ersten periodischen Polarisationsinversionsstrukturen (5A) gebildet werden,ein Ende (5e) von jeder der ersten periodischen Polarisationsinversionsstrukturen (5A) getrennt von einem Ende (2a) von jeder der zweiten Elektrodenstückteil-Gruppierungen (2C) in einer Längsrichtung (P) der zweiten Elektrodenstückteil-Gruppierungen (2C) angeordnet wird unddie getrennt voneinander angeordneten Enden auf der gleichen Seite der ersten Hauptfläche (1a) des ferroelektrischen Kristallsubstrats (1) angeordnet sind. A method of producing periodic polarization inversion structures requires the provision of first electrode piece part-arrays, each having electrode piece parts on a first main face of a ferroelectric crystal substrate. A voltage is applied on the first electrode piece part-arrays to form first periodic polarization inversion structures. Second electrode piece part-arrays are provided, each having electrode piece parts between the adjacent plural first periodic polarization inversion structures. A voltage is applied on the second electrode piece part-arrays to form second polarization inversion structures.