LADUNGSTRÄGERSTRAHLVORRICHTUNG

Die Signalelektronen mit hoher Energie, die in einem optischen Verstärkersystem in der Nähe einer optischen Achse verlaufen, z. B. die rückgestreuten Elektronen (BSE) oder die Sekundärelektronen (SE), können detektiert werden. Deshalb wird eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung bereitgestellt, die enthält: eine Ladungsträgerstrahlquelle 101, die konfiguriert ist, einen Ladungsträgerstrahl zu erzeugen; eine Objektivlinse 105, die konfiguriert ist, den Ladungsträgerstrahl auf einer Probe zu fokussieren; und ein erstes Ladungsträgerdetektionselement 108, das zwischen der Ladungsträgerstrahlquelle 101 und der Objektivlinse 105 angeordnet ist und konfiguriert ist, die durch eine Wechselwirkung zwischen dem Ladungsträgerstrahl und der Probe erzeugten Ladungsträger zu detektieren, wobei eine Detektionsfläche des ersten Ladungsträgerdetektionselements 108 auf einer Mittelachse der Objektivlinse 105 angeordnet ist. Signal electrons with high energy that pass near an optical axis, for example, backscattered electrons or secondary electrons in a booster optical system, can be detected. Therefore, there is provided a charged particle beam device including: a charged particle beam source configured to generate a charged particle beam; an objective lens configured to focus the charged particle beam to a sample; and a first charged particle detecting element disposed between the charged particle beam source and the objective lens and configured to detect charged particles generated by an interaction between the charged particle beam and the sample, in which a detection surface of the first charged particle detecting element is disposed on a center axis of the objective lens.