PHOTODETEKTOR

Ein Sensor enthält ein erstes Substrat, das mindestens ein erstes Pixel enthält. Das erste Pixel enthält eine Avalanche-Photodiode zum Umwandeln von einfallendem Licht in eine elektrische Ladung und enthält eine Anode (105) und eine Katode (101). Die Katode befindet sich in einem Wannengebiet (103) des ersten Substrats. Das erste Pixel enthält ein Isolationsgebiet (108), welches das Wannengebiet gegen mindestens ein zweites Pixel, das sich neben dem ersten Pixel befindet, isoliert. Das erste Pixel enthält ein Löcherakkumulationsgebiet (107a) zwischen dem Isolationsgebiet und dem Wannengebiet. Das Löcherakkumulationsgebiet ist elektrisch mit der Anode verbunden. A sensor includes a first substrate including at least a first pixel. The first pixel includes an avalanche photodiode to convert incident light into electric charge and includes an anode and a cathode. The cathode is in a well region of the first substrate. The first pixel includes an isolation region that isolates the well region from at least a second pixel that is adjacent to the first pixel. The first pixel includes a hole accumulation region between the isolation region and the well region. The hole accumulation region is electrically connected to the anode.