SCANNENDES LASERBASIERTES SPEKTRALES OBERFLÄCHENBEREICHSANALYSE- UND -DETEKTIONSSYSTEM

Scannendes laserbasiertes spektrales Oberflächenbereichsanalyse- und - detektionssystem, wobei das System eine fokussierende optische Vorrichtung (2), einen Reflektor (4), eine Lichtsammelvorrichtung (5) und einen Laseremitterkopf (6) umfasst; wobei der Laseremitterkopf (6) mit einer externen laserstrahlungsinduzierenden Lichtquelle verbunden ist, wobei die externe laserstrahlungsinduzierende Lichtquelle Laserlicht erzeugt, das über den Laseremitterkopf (6) zur Erzeugung eines laserinduzierten Plasmas emittiert wird, wobei die fokussierende optische Vorrichtung (2) die von dem Laseremitterkopf (6) emittierten Laserstrahlen auf eine Oberfläche einer zu untersuchenden Probe (9) konvergiert, wobei der Reflektor (4) Plasmastreulichtsignale eines breiten Spektralbereichs von der zu untersuchenden Probe (9) erfasst und sie in die Lichtsammelvorrichtung (5) konvergiert, wobei die Lichtsammelvorrichtung (5) die Plasmastreulichtsignale in eine optische Faser konvergiert und an ein externes Spektrometer überträgt, wobei das externe Spektrometer die Plasmastreulichtsignale spektral aufspaltet, um spektrale Intensitätsdaten zu verschiedenen Wellenlängen zu erhalten, wobei das System ferner eine Laserscanvorrichtung umfasst, wobei die Laserscanvorrichtung und die fokussierende optische Vorrichtung (2) einen Laserstrahl, der von dem Laseremitterkopf (6) emittiert wird, auf die Oberfläche der zu untersuchenden Probe (9) konvergieren, wobei die Laserscanvorrichtung einen Laserreflektor (31) und eine Laserscansteuerung (32) umfasst, wobei der Laserreflektor (31) das einfallende Laserlicht reflektiert und koaxial mit der fokussierenden optischen Vorrichtung (2) angeordnet ist; wobei die Laserscansteuerung (32) den Ausrichtungswinkel des Laserreflektors (32) steuert, um die Konvergenz des einfallenden Laserlichts an verschiedenen Positionen zu realisieren, wobei die fokussierende optische Vorrichtung (2) eine Linse (21) umfasst, um die Konvergenz des Laserlichts auf die zu untersuchende Probe (9) zu erreichen, und die fokussierende optische Vorrichtung (2) eine einzelne Linse (21) oder eine Linsengruppe ist, dadurch gekennzeichnet, dass die fokussierende optische Vorrichtung (2) zusätzlich zu der Linse (21) oder Linsengruppe eine Linse mit zentraler Öffnung (22) umfasst, wobei die Linse mit zentraler Öffnung (22) und die Linse (21) oder Linsengruppe hintereinander angeordnet sind und die Linse mit zentraler Öffnung (22) das Laserlicht auf die zu untersuchende Probe (9) leite