Vakuumvorrichtung

Vakuumvorrichtung, die wenigstens eine Ultrahochvakuum-Evakuierungspumpe aufweist, wobei die Ultrahochvakuum-Evakuierungspumpe Folgendes aufweist:eine stabförmige Kathode (101), die eine nicht verdampfbare Getter-Legierung (121) aufweist,eine zylindrische Anode (103), die so angeordnet ist, dass sie...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Kasuya, Keigo, Katagiri, Souichi
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS BLASTING ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY HEATING LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS PUMPS PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS WEAPONS
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