Vakuumvorrichtung

Vakuumvorrichtung, die wenigstens eine Ultrahochvakuum-Evakuierungspumpe aufweist, wobei die Ultrahochvakuum-Evakuierungspumpe Folgendes aufweist:eine stabförmige Kathode (101), die eine nicht verdampfbare Getter-Legierung (121) aufweist,eine zylindrische Anode (103), die so angeordnet ist, dass sie die Kathode (101) umgibt, undeine Spule (104) oder einen ringförmigen Permanentmagneten (110), die oder der so angeordnet ist, dass dadurch die obere und die untere Öffnung der zylindrischen Anode (103) sandwichförmig eingeschlossen sind und die stabförmige Kathode (101) davon umgeben ist,dadurch gekennzeichnet, dasseine Elektronenquelle zwischen der stabförmigen Kathode (101) und der zylindrischen Anode (103) angeordnet ist,die stabförmige Kathode (101) eine Struktur aufweist, bei der die nicht verdampfbare Getter-Legierung (121) auf einem Metallblech ausgebildet ist und zu einem Balg gefaltet ist, undein Vorsprung (125, 126), der an der Spitze eines Films aus der nicht verdampfbaren Getter-Legierung (121), der auf die Anodenseite gefaltet ist, ausgebildet ist, als Elektronenquelle dient. In a vacuum apparatus including an ultrahigh vacuum evacuation pump, the ultrahigh vacuum evacuation pump is provided with a rod-shaped cathode including a non-evaporable getter alloy, a cylindrical anode disposed so as to surround the cathode, and a coil or a ring-shaped permanent magnet disposed so as to sandwich upper and lower openings of the cylindrical anode and surround the rod-shaped cathode. As a result, it is possible to reduce the size and weight of the ultrahigh vacuum evacuation pump and to dispose the vacuum evacuation pump at a desired location in the vacuum apparatus.