Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung, die mit einer Ionenpumpe versehen ist

Bei einer mit geladenen Teilchen arbeitenden Vorrichtung, die eine Ionenpumpe aufweist, die eine mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung, die eine Ionenpumpe aufweist, ist, welche eine Einheit zum Detektieren der Bestrahlung mit einem Strahl geladener Teilchen zum Bestrahlen einer...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Touda, Hiroshi, Tone, Masazumi, Onishi, Fujio
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
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