Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung, die mit einer Ionenpumpe versehen ist

Bei einer mit geladenen Teilchen arbeitenden Vorrichtung, die eine Ionenpumpe aufweist, die eine mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung, die eine Ionenpumpe aufweist, ist, welche eine Einheit zum Detektieren der Bestrahlung mit einem Strahl geladener Teilchen zum Bestrahlen einer Probe mit einem Strahl geladener Teilchen in einer Kammer und zum Detektieren sekundärer geladener Teilchen, eine Bildverarbeitungseinheit zur Bildung eines Bilds sekundärer geladener Teilchen anhand eines Detektionssignals der sekundären geladenen Teilchen, eine Ausgabeeinheit zur Verarbeitung an der Bildverarbeitungseinheit und zur Ausgabe eines Bilds, eine Ionenpumpe, um das Innere der Verarbeitungskammer in einem Vakuumzustand zu halten, eine Treiber-Leistungsversorgungseinheit der Ionenpumpe und ein Hochspannungskabel zur Verbindung der Ionenpumpe und der Treiber-Leistungsversorgungseinheit aufweist, ist die Treiber-Leistungsversorgungseinheit der Ionenpumpe so aufgebaut, dass sie eine Hochspannungs-Versorgungsschaltungseinheit zum Betreiben der Ionenpumpe, eine Laststrom-Detektionsschaltungseinheit zum Detektieren des der Ionenpumpe zugeführten Laststroms und eine Unterdrückungsschaltungseinheit zum Verringern des auf die Laststrom-Detektionsschaltungseinheit angewendeten niederfrequenten Rauschens, um das niederfrequente Rauschen der Leistungsversorgung der Ionen ausreichend zu verringern und den Vakuumgrad mit hoher Genauigkeit zu messen, aufweist. In a charged particle apparatus with an ion pump, which is a charged particle beam apparatus with an ion pump including a charged particle beam irradiation detecting unit for irradiating a sample with a charged particle beam in a chamber and detecting a secondary charged particle, an image processing unit for forming a secondary charged particle image from a detection signal of the detected secondary charged particle, an output unit for processing at the image processing unit and outputting an image, an ion pump for maintaining the interior of the processing chamber in a vacuum state, a driving power supply unit of the ion pump, and a high voltage cable for connecting the ion pump and the driving power supply unit, the driving power supply unit of the ion pump is structured to include a high voltage power supply circuit unit for operating the ion pump, a load current detection circuit unit for detecting a load current applied to the ion pump, and a canceller circuit unit for reducing low frequency noise appli