VERBESSERTES GEHÄUSE FÜR AKUSTISCHE GASKONZENTRATIONSSENSORIK UND ABLAUFSTEUERUNG

Stoffübergangsraten-Steueranordnung und -verfahren, bei dem ein Prozessvorläufergemisch hergestellt wird, das ein Trägergas und ein Prozessvorläufergas enthält. Eine in dem Prozessvorläufergemisch vorhandene Menge des Prozessvorläufers wird akustisch erfasst, um ein Sensorausgangssignal zu erzeugen. Ein Verdünnungsgas wird bereitgestellt und das Prozessvorläufergemisch und das Verdünnungsgas werden getrennt zu einem Verdünnungspunkt befördert, an dem eine verdünnte Mischung des Verdünnungsgases und des Prozessvorläufergemisches erreicht wird. Eine relative Strömungsgeschwindigkeit des Trägergases und des Verdünnungsgases wird automatisch in Abhängigkeit von der Sensorausgabe gesteuert, sodass die verdünnte Mischung am Verdünnungspunkt einevorgeschriebene Stoffübergangsrate des Vorläufergases aufweist. Mass-transfer rate control arrangement and method in which a process precursor mixture is produced containing carrier gas and a process precursor gas. A quantity of the process precursor present in the process precursor mixture is acoustically sensed to produce a sensor output. A dilution gas is provided and the process precursor mixture and the dilution gas are separately conveyed to a diution point, at which a diluted mixture of the dilution gas and the process precursor mixture is achieved. A relative flow rate of the carrier gas and the dilution gas is automatically controlled in response to the sensor output such that the diluted mixture at the dilution point has a prescribed mass transfer rate of the precursor gas.