SCHWINGUNGSWINKELGESCHWINDIGKEITSSENSOR

Schwingungswinkelgeschwindigkeitssensor mit:- einem festen Abschnitt (20), der an einem Substrat (10) befestigt ist;- einem beweglichen Abschnitt (30) mit Ansteuergewichten (33), die auf beiden Seiten einer ersten Achse in einer Richtung auf einer Ebene des Substrats (10) mit dem festen Abschnitt (20) als eine Mitte angeordnet sind, und mit Erfassungsgewichten (34), die auf beiden Seiten einer zweiten Achse senkrecht zu der ersten Achse auf der Ebene des Substrats (10) angeordnet sind;- einem Balkenabschnitt (40) mit Ansteuerbalken (42), die auf beiden Seiten der ersten Achse mit dem festen Abschnitt (20) als eine Mitte angeordnet sind, um die Ansteuergewichte (33) an beiden Enden zu halten, Halteelementen (43), die auf beiden Seiten der zweiten Achse angeordnet sind und mit denen die Ansteuerbalken (42) verbunden sind, und Erfassungsbalken (41), die mit Mittelpositionen der Halteelemente (43) verbunden sind und die Erfassungsgewichte (34) halten, und mit einer Rahmenstruktur, die aus den Halteelementen (43), den Ansteuerbalken (42) und den Ansteuergewichten (33) gebildet wird; und- einer Antischwingungs-Federstruktur (25), die den Balkenabschnitt (40) und den festen Abschnitt (20) verbindet und entlang der ersten Achse und der zweiten Achse verformbar ist, wobei- der Schwingungswinkelgeschwindigkeitssensor bewirkt, dass die Ansteuergewichte (33), die auf den beiden Seiten des festen Abschnitts (20) angeordnet sind, Ansteuerschwingungen in Richtungen entgegengesetzt zueinander entlang der ersten Achse um den festen Abschnitt (20) herum erfahren, und eine Winkelgeschwindigkeit auf der Grundlage einer Tatsache erfasst, dass die Erfassungsgewichte (34) ebenso entlang der zweiten Achse auf der Ebene des Substrats (10) schwingen, wenn die Winkelgeschwindigkeit aufgebracht wird. A vibration angular velocity sensor includes a fixed portion, a movable portion, a beam portion, and an anti-vibration spring structure. The movable portion has driving-detection weights. The beam portion has detection beams, support members, and driving beams, and has a frame structure formed of the driving beams, the support members, and the driving-detection weights. The anti-vibration spring structure is disposed between the detection beams and the fixed portion and is deformable along a first axis and a second axis. The vibration angular velocity sensor causes the driving-detection weights disposed on both sides of the fixed portion to undergo driving vibrations in directions opposi