Halbleiterwaferinspektionsvorrichtung und Halbleiterwafer-Inspektionsverfahren

Die vorliegende Erfindung stellt eine Halbleiterwaferinspektionsvorrichtung und ein Halbleiterwaferinspektionsverfahren bereit, das eine Ausdehnung in einem Halbleiterwafer aufgrund eines Temperaturunterschiedes zwischen der Montagefläche eines Tisches und dem Halbleiterwafer unterdrücken kann. In e...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Takahashi, Takenori, Yamaguchi, Akira, Motoyama, Takashi, Shigesawa, Yuji, Ishimoto, Takashi
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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