lonenätzvorrichtung und Bearbeitungsverfahren unter Verwendung der lonenätzvorrichtung

Ionenätzvorrichtung, die mit einer Vakuumkammer, einer Abpumpvorrichtung zum Evakuieren des Inneren der Vakuumkammer und einem Probentisch zum Tragen einer mit einem Ionenstrahl innerhalb der Vakuumkammer zu bestrahlenden Probe versehen ist, welche Folgendes aufweist:eine Heizung zum Erwärmen des Inneren der Vakuumkammer,eine Gasquelle zum Einleiten eines Gases in die Vakuumkammer undeine Steuereinrichtung zum Steuern der Gasquelle,wobei die Steuereinrichtung die Gasquelle steuert, so dass der Innendruck der Vakuumkammer während der Erwärmung durch die Heizung in einem vorgegebenen Zustand ist. This ion milling device is provided with a vacuum chamber (105), an exhaust device (101) for evacuating the interior of the vacuum chamber, a sample stage (103) for supporting a sample (102) to be irradiated inside the vacuum chamber, a heater (107) for heating the interior of the vacuum chamber, a gas source (106) for introducing into the vacuum chamber a gas serving as a heating medium, and a controller (110) for controlling the gas source, the controller controlling the gas source so that the vacuum chamber internal pressure is in a predetermined state during heating by the heater. This enables the control in a short time of the temperature for suppressing condensation, or the like, occurring at atmospheric release after cooling and ion milling a sample.