Lichtmessvorrichtung, Verfahren, Programm und Aufnahmemedium

Eine Lichtmessvorrichtung (1), die einen Fehler in einer Messung eines Messsignals berichtigt, wobei die Vorrichtung aufweist:einen Master-Laser (11), der als eine Ausgabe einen Master-Laserlichtpuls erzeugt;einen Slave-Laser (12), der als eine Ausgabe einen Slave-Laserlichtpuls mit einer Wiederholungsfrequenz oder einer Phase, die sich von der des Master-Laserlichtpulses unterscheidet, erzeugt;einen Belichtungslichtpuls-Generator (14), der den Master-Laserlichtpuls empfängt und als eine Ausgabe einen Belichtungslichtpuls erzeugt;einen Messsignal-Generator (16), der als eine Ausgabe das Messsignal gemäß einer Leistung eines Messlichtpulses erzeugt, zu einem Zeitpunkt, zu dem ein durch Belichtung eines Messobjekts (2) mit dem Belichtungslichtpuls und zusätzlich mit dem Slave-Laserlichtpuls erhaltene Messlichtpuls empfangen wird;eine Signalmess-Einheit (42), die den Ausgabepunkt des Messsignals misst; einen Überwachungssignal-Generator (18), der den Belichtungslichtpuls undden Slave-Laserlichtpuls empfängt und als Ausgabe ein Überwachungssignal erzeugt;eine Zeitmess-Einheit (44), die einen Ausgabepunkt des Überwachungssignals misst;eine Zeitunterschied-Ableitungs-Einheit (48), die eine Verzögerung zwischen einem von der Zeitmess-Einheit (44) erhaltenen Messergebnis und einem von der Zeitmess-Einheit (44) erhaltenen Messergebnis, vor einem Zeitpunkt, wenn das erstgenannte Messergebnis erhalten wird, ableitet;und eine Fehler-Berichtigungs-Einheit (34,49), die den Ausgabepunkt des Messsignals basierend auf einem von der Zeitunterschied-Ableitungs-Einheit (48) abgeleiteten Ergebnis berichtigt;wobei die Vorrichtung (1) einen Fehler in der Messung an einem Ausgabepunkt des Messsignals berichtigt, undwobei ein Zeitunterschied zwischen dem Messsignal und dem Überwachungssignal konstant ist. A light measurement apparatus includes a master laser, a slave laser, an illumination light pulse, and a signal-under-measurement generator. The master laser generates as an output a master laser light pulse, and the slave laser generates as an output a slave laser light pulse having a repetition frequency or a phase different from that of the master laser light pulse. The illumination light pulse generator receives the master laser light pulse and generates as an output an illumination light pulse, and the signal-under-measurement generator, at a point in time when receiving a light pulse under measurement obtained by illuminating the object under measurement with the illuminati