Vorrichtung und Verfahren zur Entfernung von Verunreinigungen

Eine Substrat-Trockenreinigungsvorrichtung, eine Substrat-Trockenreinigungsanlage und ein Verfahren zur Reinigung eines Substrats werden offenbart. Die Substrat-Trockenreinigungsanlage umfasst einen Substratträger und einen Generator für eine reaktive Spezies. Der Generator für eine reaktive Spezies...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SWANSON, GORDON SCOTT, VARGHESE, IVIN, BALOOCH, MEHDI
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CLEANING CLEANING IN GENERAL ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY PERFORMING OPERATIONS PLASMA TECHNIQUE PREVENTION OF FOULING IN GENERAL PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS SEMICONDUCTOR DEVICES TRANSPORTING
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