Hochspannungsvervielfacher für ein Mikrofon und Herstellungsverfahren

Eine Mikrofonschaltung weist ein Kondensatormikrofon und eine Ladungspumpe auf. Das Kondensatormikrofon ist dafür konfiguriert, eine Schallenergie zu empfangen und im Ansprechen darauf die Schallenergie in eine Mikrofonausgangsspannung umzuwandeln. Die Ladungspumpe ist in einem Niederspannungs-CMOS-Prozess implementiert. Sie ist mit dem Mikrofon gekoppelt und ist dafür konfiguriert, dem Mikrofon eine Vorspannung zuzuführen, wodurch der Betrieb des Mikrofons erlaubt wird. Durch die Verwendung einer geeigneten Schaltungstopologie, deren maximale Ausgangsspannung durch die Durchbruchspannung zwischen der N-WANNE und dem Substrat beschränkt wird, und durch die Blockierung der Bildung der P-WANNE um die N-WANNE herum in einem vorbestimmten Abstand, so dass die N-WANNE von einem sehr schwach dotierten Substrat auf allen Seiten umgeben ist, wird die maximale Ausgangsspannung der Ladungspumpe beträchtlich erhöht.