Emitter, Gasfeldionenquelle und Ionenstrahlvorrichtung

Vorgestellt wird ein Ionenquellenemitter, der auch dann keine wesentliche Änderung der Extraktionsspannung verursacht, wenn der Spitzenabschnitt des Emitters wiederholt regeneriert wird. Der Emitter hat die Form einer dreieckigen Pyramide mit einem einzigen Atom an der Spitze. Der Spitzenabschnitt d...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	MUTO, HIROYUKI, KAWANAMI, YOSHIMI, MORITANI, HIRONORI
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
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