Emitter, Gasfeldionenquelle und Ionenstrahlvorrichtung

Vorgestellt wird ein Ionenquellenemitter, der auch dann keine wesentliche Änderung der Extraktionsspannung verursacht, wenn der Spitzenabschnitt des Emitters wiederholt regeneriert wird. Der Emitter hat die Form einer dreieckigen Pyramide mit einem einzigen Atom an der Spitze. Der Spitzenabschnitt des Emitters ist beim Blick auf die Spitze im wesentlichen wie ein Sechseck geformt. Provided is an ion source emitter that does not cause significant extraction voltage changes even when an apex portion of the emitter is repeatedly regenerated. The emitter has a shape of a triangular pyramid with the single atom at the apex. An apex portion of the emitter is substantially shaped like a hexagon when viewed from the apex side.