System zur Steuerung eines Durchmessers eines Einkristallingots und Einkristallingot-Zuchtvorrichtung umfassend dasselbe

System zur Steuerung eines Durchmessers eines Einkristallingots, wobei das System aufweist:einen Durchmesser-Messsensor, der einen Durchmesser eines Einkristallingots misst;ein Tiefpassfilter (LPF), das Störsignale kurzer Zeitdauer aus den von dem Durchmesser-Messsensor gemessenen Daten entfernt;ein...

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Hauptverfasser: Ha, Se-Geun, Hong, Young-Ho, Jung, Yo-Han
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:System zur Steuerung eines Durchmessers eines Einkristallingots, wobei das System aufweist:einen Durchmesser-Messsensor, der einen Durchmesser eines Einkristallingots misst;ein Tiefpassfilter (LPF), das Störsignale kurzer Zeitdauer aus den von dem Durchmesser-Messsensor gemessenen Daten entfernt;eine Einheit, die aus den Daten am Ausgang des Tiefpassfilters eine Datenmittelwertszahl AVE in einer halben Zuchtkeimdrehperiode oder einem ganzzahligen Vielfachen hiervon ermittelt, undeinen ADC-Sensor (Automatic Diameter Control), der den Durchmesser des Einkristallingots durch Steuern einer Zuggeschwindigkeit unter Verwendung von Daten als aktuelle Daten steuert, die die Datenmittelwertszahl AVE enthalten und bei denen die Störsignale entfernt sind;wobei das Tiefpassfilter aus einer Schaltung besteht, die einen Widerstand und einen Kondensator umfasst; wobei die Übertragungsfunktion des Tiefpassfilters durch die folgende Gleichung 1 definiert istwobei der Wert der Zeitkonstanten (τf) des Tiefpassfilters, durch RC ausgedrückt (mit dem Widerstandswert R und dem Kapazitätswert C), in dem Bereich 1 bis 15 Sekunden liegt und die Datenmittelwertszahl AVE im Bereich von 105 bis 195 liegt. Provides are a system of controlling a diameter of a single crystal ingot and a single crystal ingot growing apparatus including the same. The system of controlling a diameter of a single crystal ingot includes: a diameter measuring sensor measuring a diameter of a single crystal ingot; a Low-Pass Filter (LPF) removing short period noise from measured data from the diameter measuring sensor; and an Automatic Diameter Control (ADC) sensor controlling the diameter of the single crystal ingot through controlling of a pull speed by using data having the noise removed as current data.