Optischer Sensor
Optischer Sensor mit:- mehreren Lichtempfangselementen (20), die auf einer Oberflächenseite eines Halbleitersubstrats (10) angeordnet sind und Licht in ein elektrisches Signal wandeln;- einem lichtdurchlässigen Film (30), der auf der einen Oberfläche des Halbleitersubstrats (10) angeordnet ist und e...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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Zusammenfassung: | Optischer Sensor mit:- mehreren Lichtempfangselementen (20), die auf einer Oberflächenseite eines Halbleitersubstrats (10) angeordnet sind und Licht in ein elektrisches Signal wandeln;- einem lichtdurchlässigen Film (30), der auf der einen Oberfläche des Halbleitersubstrats (10) angeordnet ist und eine lichtdurchlässige Eigenschaft aufweist;- einem lichtblockierenden Film (40), der über den lichtdurchlässigen Film (30) auf der einen Oberfläche des Halbleitersubstrats (10) angeordnet ist und eine lichtblockierende Eigenschaft aufweist; und- mehreren Öffnungen (41), die in dem lichtblockierenden Film (40) zum Einleiten von Licht in jeweilige Lichtempfangselemente (20) angeordnet sind, wobei- die Lichtempfangselemente (20) ein erstes Lichtempfangselement (20a bis 20h) und ein zweites Lichtempfangselement (20a bis 20h) aufweisen,- die Öffnungen eine erste Öffnung (41a bis 41h) entsprechend dem ersten Lichtempfangselement (20a bis 20h) und eine zweite Öffnung (41a bis 41h) entsprechend dem zweiten Lichtempfangselement (20a bis 20h) aufweisen,- eine erste virtuelle Linie (A bis C) so definiert ist, dass sie sich von einer Mitte des ersten Lichtempfangselements (20a bis 20h) aus erstreckt und eine Mitte der ersten Öffnung (41a bis 41h) durchläuft,- eine zweite virtuelle Linie (A bis C) so definiert ist, dass sie sich von einer Mitte des zweiten Lichtempfangselements (20a bis 20h) aus erstreckt und eine Mitte der zweiten Öffnung (41a bis 41h) durchläuft,- die erste virtuelle Linie (A bis C) und die zweite virtuelle Linie (A bis C) einen unterschiedlichen Höhenwinkel und/oder einen unterschiedlichen Rechts-Links-Winkel aufweisen, und- eine Lichtempfangsfläche des ersten Lichtempfangselements (20a bis 20h) größer als eine Aperturfläche der ersten Öffnung (41a bis 41h) ist, und eine Lichtempfangsfläche des zweiten Lichtempfangselements (20a bis 20h) größer als eine Aperturfläche der zweiten Öffnung (41a bis 41h) ist.
An optical sensor includes: first and second light receiving elements on a semiconductor substrate; a light blocking film over the semiconductor substrate via a light transmitting film; and first and second openings corresponding to the light receiving elements and disposed in the light blocking film. First and second virtual lines are defined to extend from the centers of the first and second light receiving elements and pass through the centers of the first and second openings, respectively. At least one of elevation angles and left-right angles of the |
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