Mikroelektromechanisches System

Verfahren zum Ausbilden eines Arms eines mikroelektromechanischen Systems (MEMS), aufweisend: Ausbilden einer unteren Elektrode (38) auf einer Opferschicht (18); Ausbilden einer Isolatorschicht (40) auf der unteren Elektrode (38); und Ausbilden einer oberen Elektrode (44) über dem Isolatormaterial (...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	STAMPER, ANTHONY, JAHNES, CHRISTOPHER VINCENT
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS TRANSPORTING
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