Gasfeldionisations-Ionenquelle und Ionenstrahlvorrichtung

Gasfeldionisations-Ionenquelle (100) miteiner Elektrodeneinheit mit einer Emitterelektrode (1) und einer Extraktionselektrode (2);einer Gaszuführeinheit (3, 30-32) zum Zuführen eines Gases durch einen Gaseinführungsöffnungsabschnitt (3) der Gaszuführeinheit (3, 30-32) in die Nähe des vorderen Endes der Emitterelektrode (1);einer Spannungs-Anlegeeinheit (4) zum Anlegen einer Spannung zwischen der Emitterelektrode (1) und der Extraktionselektrode (2), um ein elektrisches Feld für die Ionisation des Gases auszubilden; und miteiner Temperatursteuerung (20-25),dadurch gekennzeichnet, dass die Temperatursteuerung (20-25) dazu ausgebildet ist,die Temperatur des vorderen Endes der Emitterelektrode (1) und die Temperatur des Gaseinführungsöffnungsabschnitts (3) der Gaszuführeinheit (3, 30-32) individuell so zu steuern, dass sich der Gaseinführungsöffnungsabschnitt (3) während der lonenemission auf einer höheren Temperatur befindet als das vordere Ende der Emitterelektrode (1), unddie Temperatur des Gaseinführungsöffnungsabschnitts (3) so zu halten, dass sie bei einem oder oberhalb eines Verdampfungspunktes des Gases liegt. Provided is a gas field ionization ion source capable of emitting heavy ions with high brightness which are suitable for processing a sample. The gas field ionization ion source according to the present invention includes a temperature controller individually controlling the temperature of the tip end of an emitter electrode (1) and the temperature of a gas injection port part (3) of a gas supply unit.