Druckabbau-System und Vakuum-Behandlungsvorrichtung

Ein Druckabbau-System weist eine Vielzahl von Druckabbau-Vorrichtungen auf, von dem jede eine Kühleinrichtung und eine Kompressionsvorrichtung (42) aufweist. Die Kompressionsvorrichtung (42) weist eine Kompressionseinheit auf, die mit einem Wechselstrommotor (43) versehen ist, und speist ein komprimiertes Kühlmittel in jede Kühleinheit mit einer Durchflussrate korrespondierend zu der Drehzahl des Wechselstrommotors ein. Jede Kühleinheit ergänzt Gas, wenn das komprimierte Kühlmittel apathisch expandiert. Das Druckabbau-System umfasst eine Temperaturerfassungseinheit (50), welche die Temperatur der Kühleinheit erfasst, eine Invertervorrichtung (52), die geeignet ist zum Verändern der Frequenz der Wechselstromleistung, die dem Wechselstrommotor geliefert wird, und einen Frequenzregler (51), der die Ausgangfrequenz der Invertervorrichtung regelt. Der Frequenzregler (51) hebt die Ausgangfrequenz der Invertervorrichtung relativ an, wenn die Temperatur der Kühleinheit von wenigstens einer der -Vorrichtungen größer oder gleich einem ersten Schwellwert ist, und senkt die Ausgangfrequenz der Invertervorrichtung relativ ab, wenn die Temperatur der Kühleinheit von allen Druckabbau-Vorrichtungen oder weniger als der erste Schwellwert abnimmt.