Anwendung der Breitbandabtastung für die Lichtbogenerfassung mit einem Wahrscheinlichkeitsmodell zum quantitativen Messen von Lichtbogenereignissen

Lichtbogen-Erfassungssystem für ein Plasmaerzeugungssystem, das umfasst:einen Hochfrequenzsensor (HF-Sensor), der basierend auf den entsprechenden elektrischen Eigenschaften der HF-Leistung, die mit einer Plasmakammer in Verbindung steht, ein erstes und ein zweites Signal erzeugt; undein Analysemodul, das basierend auf einer Korrelationsfunktion des ersten und des zweiten Signals ein Lichtbogen-Erfassungssignal erzeugt, wobei das Lichtbogen-Erfassungssignal angibt, ob in der Plasmakammer ein Lichtbogen auftritt, und verwendet wird, um einen Aspekt der HF-Leistung zu verändern, um den Lichtbogen zu löschen, und das basierend auf dem ersten und dem zweiten Signal eine geschätzte Energie des Lichtbogens bestimmt. An arc detection system for a plasma generation system includes a radio frequency (RF) sensor that generates first and second signals based on a respective electrical properties of (RF) power that is in communication with a plasma chamber. A correlation module generates an arc detect signal based on the first and second signals. The arc detect signal indicates whether an arc is occurring in the plasma chamber and is employed to vary an aspect of the RF power to extinguish the arc.