Prüfverfahren anhand von erfassten Bildern und Prüfvorrichtung

Prüfverfahren zum optischen Prüfen der Oberfläche eines Prüfobjekts, umfassend die Schritte: - Versetzen des Prüfobjekts (10) in Rotation, - Bestrahlen einer Oberfläche des Prüfobjekts (10) mit weißem Licht einer Beleuchtungseinheit (110), - Abtasten der Oberfläche des Prüfobjekts (10) mit einer Bil...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	ONO, YOKO, MORI, HIDEKI, HAYASHI, YOSHINORI, KAWAMURA, MASAO, WAKABA, HIROSHI, MIAYZONO, KOICHI
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	Prüfverfahren zum optischen Prüfen der Oberfläche eines Prüfobjekts, umfassend die Schritte: - Versetzen des Prüfobjekts (10) in Rotation, - Bestrahlen einer Oberfläche des Prüfobjekts (10) mit weißem Licht einer Beleuchtungseinheit (110), - Abtasten der Oberfläche des Prüfobjekts (10) mit einer Bilderfassungseinheit (100), - Verändern der Polarisationseigenschaft des Lichts in einem ersten Schritt, wobei die Polarisation des Lichts, das von der Oberfläche des Prüfobjekts (10) abgestrahlt wird und dann auf die Bilderfassungseinheit (100) einfällt, geändert wird, - Erfassen von Bildern in einem zweiten Schritt, wobei die aufgenommenen Bilder auf den im ersten Schritt erzeugten unterschiedlichen Polarisationseigenschaften des Lichts beruhen, - Verwenden der im zweiten Schritt aufgenommenen Bilder zum Prüfen der Oberfläche des Prüfobjekts (10), wobei ein Zusammenhang zwischen der Anzahl der erfassten Bilder und der unterschiedlichen Polarisationseigenschaften des Lichts hergestellt wird.