Massenfluss-Verifizierungsgerät, das in der Lage ist, verschiedene Volumina bereit zu stellen und entsprechendes Verfahren

Massenfluss-Verifizierungsgerät zur Verifizierung eines Fluids von einer Massenfluss-Vorrichtung, die über einen Betriebsflussmessbereich betrieben wird, das Massenfluss-Verifizierungsgerät bestehend aus:einem derart konstruierten und angeordneten System, um verschiedene vordefinierte Volumina zu definieren, um Submessbereiche innerhalb des Betriebsmessbereichs darzustellen, wobei jedes Volumen aus einem Einlass zum Empfang des Flusses von der Massenfluss-Vorrichtung besteht und einem Auslass, sodass Druckveränderungen, die durch den Fluss von der Massenfluss-Vorrichtung in ein Volumen auftreten, gemessen werden können, wenn ein Auslassventil geschlossen ist;einem derart konstruierten und angeordneten Temperatursensor, um ein Signal zu erzeugen, das die Temperatur des Fluids innerhalb eines Volumens darstellt, wenn die Druckveränderungen innerhalb des Volumens gemessen werden;einem derart konstruierten und angeordneten einzelnen Drucksensor, um Drucksensorsignale zu erzeugen, die die Druckveränderungen in jedem Volumen der verschieden vordefinierten Volumina darstellen, wenn die Druckveränderungen innerhalb jedes Volumens der verschieden vordefinierten Volumina gemessen werden; undeinem derart konstruierten und angeordneten Regler, um den Fluss von der Massenfluss-Vorrichtung in ein ausgewähltes Volumen als Funktion des Drucksensorsignals, des Temperatursignals und der Größe des ausgewählten Volumens zu messen. Embodiments of the present disclosure are directed to systems, methods, and apparatus, including software implementation, useful for high-precision measurement of mass flow rate over a large range of flows by using multiple volumes, each having a different and selected size. Use of a single manometer can facilitate reduced cost, and the use of multiple chamber volumes that are sized according to sub-flow ranges within the overall range of the mass flow verifier, or a related device under test, can provide high accuracy while reducing deleterious effects of noise in the flow measurement.