Ätzverfahren mit verbesserter Kontrolle der kritischen Ausdehnung eines Strukturelements an der Unterseite dicker Schichten

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SCHAIJK, ROBERTUS T. F. VAN, KNOTTER, DIRK MARTEEN, KOSTER, RONALD, DEKKER, ARNOLDUS DEN
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TRANSPORTING
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