Vakuummembranmesszelle und Verfahren zur Herstellung einer derartigen Messzelle

Verfahren zur Herstellung einer Vakuummesszelle mit einer Membran (2) als Druckwandler, wobei auf der einen Seite der Membran (2) beabstandet eine erste Gehäuseplatte (1) im Randbereich mit einem Verbindungsmittel (3) dichtend angeordnet ist, derart, dass dazwischen ein Referenzvakuumraum (7) ausgeb...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Strietzel, Carsten, Björkman, Per, Berner, Walter
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	MEASURING MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE PHYSICS TESTING
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