Vakuummembranmesszelle und Verfahren zur Herstellung einer derartigen Messzelle

Verfahren zur Herstellung einer Vakuummesszelle mit einer Membran (2) als Druckwandler, wobei auf der einen Seite der Membran (2) beabstandet eine erste Gehäuseplatte (1) im Randbereich mit einem Verbindungsmittel (3) dichtend angeordnet ist, derart, dass dazwischen ein Referenzvakuumraum (7) ausgebildet ist, und dass auf der anderen Seite der Membran (2) beabstandet eine zweite Gehäuseplatte (4) im Randbereich mit einem Verbindungsmittel (3) dichtend angeordnet ist, derart, dass dazwischen ein Messvakuumraum (9) ausgebildet ist, und dass die zweite Gehäuseplatte (4) eine Öffnung aufweist und mit dieser und dem Messvakuumraum (9) kommunizierend Anschlussmittel (5) mit Verbindungsmittel (6) dichtend angeordnet sind zur Verbindung des Messvakuumraumes (9) mit dem zu messenden Medium, wobei die Membran (2) und die beiden Gehäuseplatten (1, 4) aus einem Metalloxid bestehen, dadurch gekennzeichnet, dass die Messzelle in einer Vakuumkammer (64) mit einem ALD-Verfahren beschichtet wird und die Materialabscheidung durch die Öffnung der Messzelle und die Anschlussmittel (5) derart erfolgt, dass die Innenwandung des Messvakuumraumes (9) und die Öffnung mit den Anschlussmitteln (5) mit einer Schutzschicht (13) bedeckt wird, derart, dass mindestens das Verbindungsmittel (3) für die Membran (2) schützend abgedeckt wird. Introduced is a method for the production of a diaphragm vacuum measuring cell, wherein on the one side of the diaphragm (2) at a spacing a first housing plate (1) is disposed sealing in the margin region with a joining means (3), and that on the other side of the diaphragm (2) at a spacing a second housing plate (4) is disposed sealing in the margin region with a joining means (3), and that the second housing plate (4) has an opening at which a connection means (5) is disposed sealing with joining means (3) for the connection of the measuring cell (8) with the medium to be measured, wherein the diaphragm (2) and the two housing plates (1, 4) are comprised of a metal oxide. Using an ALD method, the measuring cell is coated in a vacuum chamber (64), in particular through the opening of the measuring cell, such that the inner wall of the measuring vacuum chamber (9) and the opening with the connection means (5) is covered with a protective layer (13) such that at least the joining means (3) for the diaphragm (2) is protectively covered against corrosion.