Verfahren zum Ausbilden einer Halbleiteranordnung und Verfahren zum Ausbilden eines Transistors

Verfahren zum Ausbilden einer Halbleiteranordnung, das Verfahren umfassend: Bereitstellen eines Halbleiterkörpers (24); Durchführen einer amorphisierenden Ionenimplantation (10) zum Implantieren von Dotierstoffen eines ersten Leitfähigkeitstyps in den Halbleiterkörper (24), wobei die amorphisierende...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: HIERLEMANN, MATTHIAS
Format: Patent
Sprache:ger
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