Verfahren und Gerät zum Messen von elektrischen Hochfrequenzcharakteristika einer elektronischen Vorrichtung und Verfahren zum Kalibrieren von Geräten zum Messen von elektrischen Hochfrequenzcharakteristika

Ein Verfahren zum Messen von Hochfrequenzcharakteristika einer elektronischen Vorrichtung, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: einen Schritt eines Vorbereitens einer Übertragungsleitung, deren elektrische Charakteristika pro Längeneinheit bekannt sind, wobei die Übertragungsleitung einen Signalleiter und einen Masseleiter umfasst; einen Schritt eines Verbindens von zwei Enden der Übertragungsleitung mit zugeordneten Messtoren einer Messvorrichtung; einen Schritt eines Messens von elektrischen Charakteristika in einem Verbindungszustand, bei dem der Signalleiter mit dem Masseleiter verbunden ist, an zumindest drei Punkten in der longitudinalen Richtung der Übertragungsleitung; einen Schritt eines Erhaltens von Fehlerfaktoren eines Messsystems, das die Übertragungsleitung umfasst, auf der Basis von gemessenen Werten in dem Verbindungszustand und der elektrischen Charakteristika der Übertragungsleitung; einen Schritt eines Nebenschlussverbindens der zu messenden elektronischen Vorrichtung mit der Übertragungsleitung und eines Messens von elektrischen Charakteristika; und einen Schritt eines Entfernens der Fehlerfaktoren des Messsystems von gemessenen Werten der zu messenden elektronischen Vorrichtung und eines Erhaltens echter Werte der elektrischen Charakteristika der zu messenden elektronischen Vorrichtung. Opposite ends of a transmission line (12) having known electric characteristics per unit length are connected, respectively, with measuring ports of a network analyzer (20), the transmission line (12) is shunted with short chips (10) at at least three points in the longitudinal direction, electric characteristics are measured under total reflection state, and error factors of the measuring system including the transmission line (12) are calculated. Electric characteristics are measured while shunting the transmission line (12) with an electronic component (15) to be measured, and error factors of the measuring system are removed from the measurements of the electronic component (15) to be measured, thus determining the true values of the electric characteristics of the electronic component (15) to be measured. A high-precision high-frequency electric characteristics measuring method for a two-terminal electronic component insusceptible to a variation in connection can thereby be realized.