Druckmessvorrichtung mit einem kapazitiven Drucksensor in einem Verstärkerrückkopplungspfad

Druckmeßvorrichtung (10) zum Erfassen von Druck in einem industriellen Prozeß mit:einer digitalen Taktschaltung (22), die Erregungstaktimpulse (24, PHO) und Steuerausgangssignalimpulse (26, PH1) bereitstellt, die phasenverschoben zu den Erregungstaktimpulsen sind;einem ersten Integrator(30), der einen von den Steuerausgangssignalimpulsen (26, PH1) gesteuerten ersten Schalter (32), einen ersten Verstärker (34) und einen mittels Fluid an dem industriellen Prozeß ankoppelbaren kapazitiven Druckmeßwandler umfaßt und eine erste Druckerfassungskapazität (36) aufweist, die elektrisch in einen Verstärkerrückkopplungspfad (38) zwischen einem Ausgang (40) des ersten Verstärkers (34) und einem Eingang des ersten Verstärkers (34) angeschlossen ist,wobei der erste Schalter (32) eine Verbindung über der ersten Druckerfassungskapazität (36) erzeugt; wobei der Verstärker (34) ein den Druck repräsentierendes Ausgangssignal erzeugt, und die Steuerausgangssignalimpulse den Ausgang des ersten Verstärkers zurückstellen;einer ersten Bezugskapazität (47), die gegenüber dem Druck unempfindlich ist, und die Erregungstaktimpulse (24, PHO) mit dem Eingang (42) des ersten Verstärkers (34) verbindet; ferner mit:einer Summierschaltung (46), welche das Ausgangssignal des ersten Verstärkers (34), das durch die Steuerausgangssignalimpulse zurückgestellt wird, und ein erstes Bezugspotential aufnimmt; wobei die Summierschaltung (46) ein den Druck repräsentierendes Ausgangssignal (52) der Summierschaltung (46) erzeugt. A pressure measurement device that has a digital clock circuit that provides an excitation clock and a control output. An integrator includes a switch controlled by the control output, an amplifier, and a pressure sensing capacitance coupled in an amplifier feedback path. The switch connects across the first pressure sensing capacitance. A reference capacitance that is insensitive to the pressure couples between the excitation clock and the amplifier input. An amplifier output represents the pressure.