Verfahren zur Erzeugung von Isolatorstrukturen in einem Halbleitersubstrat

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	O'RIAIN, RYAN, SPERLICH, HANS-PETER, RADECKER, JOERG
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!