Brennraumdrucksensor mit Metallmembran mit piezoresistiver Metalldünnschicht

Die Erfindung bezieht sich auf einen Drucksensor zur Erfassung des Druckes in einem mit Hochdruck beaufschlagten Raum. Die durch den Drucksensor (1) erfassten Signale werden einer Auswerteelektronik (16) zugeleitet. An dem dem mit Hochdruck beaufschlagten Raum zuweisenden Ende des Drucksensors (1) i...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KASCHUBE, CARSTEN, BAUMANN, LOTHAR, KAISER, RALF, FREHOFF, ROGER, ROESSER, CHRISTIAN, LEDERMANN, MARKUS, MOELKNER, THOMAS, FISSLER, MARKUS, SCHOLZEN, HOLGER, DIDRA, HANS-PETER, GEBERS, JOERG, THIEL, BENJAMIN
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	MEASURING MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung bezieht sich auf einen Drucksensor zur Erfassung des Druckes in einem mit Hochdruck beaufschlagten Raum. Die durch den Drucksensor (1) erfassten Signale werden einer Auswerteelektronik (16) zugeleitet. An dem dem mit Hochdruck beaufschlagten Raum zuweisenden Ende des Drucksensors (1) ist eine Sensormembran (7) aufgenommen. Die Sensormembran (7) ist als Stahlmembran ausgebildet, auf deren Rückseite (7.2) eine piezoresistive Messelemente aufnehmende Metalldünnschicht (8) aufgebracht ist. Die Metalldünnschicht (8) ist durch Übertragungselemente (11) kontaktiert und mit der Auswerteelektronik (16) verbunden. The sensor has a sensor membrane (7) whose rear side (7.2) includes a thin metallic layer receiving piezo-resistive measuring units connected by transmission units (11), where the membrane is steel membrane. The transmission units are connected to a processing unit, and signals detected by the sensor are provided to the processing unit. A sensor head has large diameter and a sensor collar has reduced diameter.