Vakuumbeschichtungsanlage

Um z. B. Brillengläser (4) mit einer Beschichtung, die einen ungleichmäßigen Verlauf aufweist, zu versehen, sind Blenden vorgesehen. Gemäß der Erfindung handelt es sich dabei um Blendenringe (10), die mittels eines Blendenhalters oberhalb des Verdampfertiegels (6) einer Vakuumbeschichtungsanlage kon...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	FUHR, MARKUS, ZUELTZKE, WALTER
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Um z. B. Brillengläser (4) mit einer Beschichtung, die einen ungleichmäßigen Verlauf aufweist, zu versehen, sind Blenden vorgesehen. Gemäß der Erfindung handelt es sich dabei um Blendenringe (10), die mittels eines Blendenhalters oberhalb des Verdampfertiegels (6) einer Vakuumbeschichtungsanlage konzentrisch zu einer Symmetrieachse des Verdampfertiegels (6) angeordnet sind. Die Brillengläser (4) sind an einem Substrathalter (1) ebenfalls auf Kreisringen (3) um die Symmetrieachse angeordnet, wobei der Schatten, den die Blendenringe (10) werfen, jeweils nur eine Teilzone der Brillengläser (4) erfasst, so dass sie dort schwächer beschichtet werden als in den nicht abgeschatteten Freizonen. DOLLAR A Um den Beschichtungsverlauf an die jeweilige Kundenanforderung anzupassen, sind die Blendenringe (10) austauschbar. Außerdem ist der Abstand des Substrathalters (1) zu den Blendenringen (10) verstellbar.