Lecksuchgerät

Das Lecksuchgerät (10) nach dem Gegenstromprinzip weist eine Hochvakuumpumpe (22) auf, deren Einlass mit einem Massenspektrometer (24) verbunden ist. Ferner ist eine Vorvakuumpumpe (20) vorgesehen, deren Einlass (21) mit einem Auslass (23) der Hochvakuumpumpe (22) und einem Lecksuchgerät-Eingang (12) verbunden ist. Ferner ist eine Verbindungsleitung (30) zwischen dem Lecksuchgerät-Eingang (12) und einem Zwischeneinlass (28) der Hochvakuumpumpe (22) vorgesehen. Im Verlauf der Verbindungsleitung (30) ist ein, in bezug auf seinen Leitwert eistellbares erstes Ventil (32) angeordnet. Ventile mit großem Innendurchmesser sind teuer, während Ventile mit kleinem Innendurchmesser einen nenneswerten Widerstand aufweisen, selbst wenn sie vollständig geöffnet sind. Gemäß der Erfindung ist im Verlauf der Verbindungsleitung ein zweites Ventil vorgesehen, das parallel zum einstellbaren ersten Ventil angeordnet ist. Hierdurch können für beide Ventile (32, 34) in der Verbindungsleitung (30) preiswerte Ventile mit relativ geringem Innendurchmesser verwendet werden, wobei der Gesamtleitwert beider geöffneter Ventile (32, 34) erheblich vergrößert ist. A leak detecting device of the counterflow type includes a high vacuum pump having an inlet connected to a mass spectrometer. In addition, a prevacuum pump is provided having an inlet connected to an outlet of the high vacuum pump and a leak detecting device input. A connecting conduit is further provided between the leak detecting device input and an intermediate inlet of the high vacuum pump. A first valve of variable conductance is arranged in the course of the connecting conduit. Valves with a large inner diameter are expensive while valves with a small inner diameter show considerable resistance even in a fully opened state. A second valve arranged parallel to the first adjustable valve is provided in the course of the connecting conduit; thereby allowing the first and second valves to have relatively small inner diameters arranged in the connecting conduit, wherein the combined conductance of both opened valves is considerably increased.