Verfahren zur Herstellung einer Grabenisolationsstruktur

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SCHMITT, FLORIAN, HOLLATZ, MARK, KLIPP, ANDREAS, MOTHES, KERSTIN
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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