Controlling supply of power from AC supply to two consumers in plasma process, by adjusting supplied power if actual power deviates from set value

The actual power supplied to the consumers (4a,4b) is detected and compared with the set value. If there is a deviation from the set value, the supplied power is adjusted for each consumer by addition or removal of power between the AC supply and the consumer(tvs). The actual power supplied is detected by determining power-dependent parameters for each consumer. Independent claims are included for a power supply unit, and for a power supply. Leistungszufuhrregeleinheit und Verfahren zur Regelung der Leistungszufuhr der von einer Wechselstromquelle (2) gelieferten Leistung auf mindestens zwei Verbraucher, insbesondere auf Verbraucher in einem Plasmaprozess, wobei die Ist-Leistungszufuhr auf die Verbraucher erfasst wird, mit einer vorgegebenen Soll-Leistungszufuhr verglichen wird und bei einer Abweichung durch Zufuhr und/oder Abfuhr von Leistung zwischen der Wechselstromquelle (2) und mindestens einem der Verbraucher die Leistungszufuhr für jeden Verbraucher angepasst wird. Mit dem Verfahren und der Regeleinheit ist es bei einem Plasmaprozess möglich, die in die Elektroden gelieferte Leistung unabhängig von der Art der Wechselstromquelle so zu regeln, dass sie einer vorgegebenen Leistungszufuhr entspricht.