Verfahren und Anordnung zur optischen Untersuchung und/oder Bearbeitung einer Probe

Verfahren zur optischen Untersuchung und/oder Bearbeitung einer Probe, mit einer Erzeugung eines kurzpulsigen Beleuchtungslichtes, einer spektralen Aufspaltung des Beleuchtungslichtes zur Erzeugung räumlich getrennter Spektralkomponenten mit Pulslängen, die größer sind als die Pulslänge der Beleuchtungslichtquelle, dem Durchlaufen der räumlich getrennten Spektralkomponenten durch eine Übertragungsoptik in Richtung der Probe, der Fokussierung des Beleuchtungslichtes mittels eines Objektives auf oder in die Probe, wobei die räumlich getrennten Spektralkomponenten im Fokus des Objektives überlagert werden sowie der Detektion des Probenlichtes wobei die Pulslänge der auf oder in die Probe fokussierten Spektralkomponenten kleiner ist als die Pulslänge der räumlich separierten Spektralkomponenten. A method and an arrangement for the optical examination and/or processing of a sample comprise an element for generating an illumination light, an element arranged downstream of the latter for spectral splitting of the illumination light for generating spatially separated spectral components, an element for parallelizing the split illumination light, an element for focusing the illumination light on or in the sample, wherein the spectral components are superposed, and an element for detecting the sample light, advantageously comprising an element for generating a short-pulse illumination light, an element arranged downstream of the latter for spectral splitting of the illumination light for generating spatially separated spectral components with pulse lengths that are greater than the pulse length of the illumination light, wherein these spectral components are combined again in the sample.