Trench capacitors short circuit determining test structure, has two rows of trench capacitors, each capacitor connected by tunnel and bridge structure to form interconnected capacitor rows within regular trench capacitor matrix
The structure has trench capacitors (3) arranged in a matrix form, and a tunnel structure and a bridge structure connecting the capacitors of two rows of trench capacitors to one another to form interconnected trench capacitor rows (3a, 3b). A contact area for contact connection is provided at each...
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| Hauptverfasser: | , |
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; ger |
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| Zusammenfassung: | The structure has trench capacitors (3) arranged in a matrix form, and a tunnel structure and a bridge structure connecting the capacitors of two rows of trench capacitors to one another to form interconnected trench capacitor rows (3a, 3b). A contact area for contact connection is provided at each end section of each row. The two rows of interconnected capacitors are formed within a regular trench capacitor matrix.
Eine Teststruktur zum Bestimmen eines Kurzschlusses zwischen Grabenkondensatoren in einem Speicherzellenfeld, wobei die Grabenkondensatoren matrixförmig angeordnet sind, weist bei zwei Reihen von Grabenkondensatoren eine Verbindung der Grabenkondensatoren jeder Reihe durch Tunnelstrukturen oder/und Brückenstrukturen auf, wobei an jedem Endabschnitt einer Grabenkondensatorenreihe eine Kontaktfläche zum Ankontaktieren vorgesehen ist. |
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