Measuring device for cutting and shaping tools cutting edge, has positioning system provided with linear piezo-motors in all three axes

A device for ascertaining and setting out the 3-D contour/outline of a cutting edge comprises a 3-D positioning system for the positioning of sensors with scanning tips for determining the cutting surface. The positioning system (6) is equipped with linear piezo-motors in all axes (x; y; z) and the sensor has an extremely fine scanning tip so that the scanning tip (5) has an angle of taper of less than 60 degrees and a tip radius of 5 nm max. Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung zur Erfassung und Vermessung der 3-D-Kontur der Schneidkante eines Schneid- und Zerspanungswerkzeuges. DOLLAR A Es wurde von der Aufgabenstellung ausgegangen, eine Vorrichtung zu entwickeln, mit der zur Erfassung der Kontur einer Werkzeugschneide eine tastend arbeitende Messvorrichtung verwendet wird, bei der durch aufeinander abgestimmte Gestaltung der Positioniertechnologie und der Tasttechnologie ein erfasster Messbereich von mindestens einigen hundert mum mit einer Auflösung von mindestens 0,05 mum sowohl in Normalrichtung als auch lateral erreicht wird. DOLLAR A Die Lösung dieser Aufgabe besteht darin, dass das Positioniersystem (6) in allen Achsen (x; y; z) mit linearen Piezomotoren ausgestattet ist und der Sensor eine hochfeine Tastspitze (5) aufweist, derart, dass die Tastspitze (5) einen Kegelwinkel kleiner 60 DEG aufweist und einen Spitzenradius von maximal 5 nm hat.