Integrierte Testschaltungsanordnung und Testverfahren

Integrierte Test-Schaltungsanordnung (10), mit integrierten Teststrukturen (80 bis 86), und mit mindestens einem der folgenden Elemente oder Einheiten: einer integrierten Erfassungseinheit (102, 42), die für die Teststrukturen (80 bis 86) jeweils mindestens eine physikalische Eigenschaft erfasst, wobei die Erfassungseinheit mindestens eine Multiplexereinheit (102) enthält, deren Eingänge mit jeweils einer Teststruktur (80 bis 86) elektrisch verbunden sind, und/oder einer integrierten Versorgungseinheit, die die Teststrukturen unabhängig voneinander schaltbar versorgt und jeweils unabhängig voneinander mit einem Strom oder einer Spannung speist. An integrated test circuit arrangement is provided that contains integrated test structures, at least one integrated heating element, an integrated detection unit, an integrated supply unit, and a control unit. The integrated detection unit detects at least one physical property for each of the test structures. The integrated supply unit supplies each of the test structures with a current or a voltage in switchable fashion independently of one another. The control unit is connected to outputs of the detection unit on an input side and controls the supply unit dependent on the detection results.