Optical measurement device for measuring the height of an object surface has an object support with sloping stepped or graduated surfaces so that its height is determined from which step or graduation is in focus with its top
Optical measurement device for measuring the surface, especially the height, of an object. The device has a holder (1) or support for the object (2) with a support surface (1.4) that is at least partially surrounding by smooth graduated or stepped sloping surfaces. When the object is illuminated wit...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; ger |
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Zusammenfassung: | Optical measurement device for measuring the surface, especially the height, of an object. The device has a holder (1) or support for the object (2) with a support surface (1.4) that is at least partially surrounding by smooth graduated or stepped sloping surfaces. When the object is illuminated with measurement light (3) its height can quickly be measured by determining which step or graduation is in focus with the object surface.
Die Erfindung bezieht sich auf eine optische Messvorrichtung zum Vermessen der Oberfläche eines in einer Aufnahme angeordneten Objekts (2) mittels Fokuslage von beleuchtetem Licht (3). Bei geringem Messaufwand lassen sich eindeutige, genaue Messergebnisse dadurch erzielen, dass die Aufnahme als Objektträgerr (1) mit einer Aufnahmefläche (1.4) und einer diese zumindest teilweise umgebenden und gegenüber dieser definiert stufenförmig oder kontinuierlich mit Skalierung (1.3) ansteigenden Schräge (1.1, 1.2) ausgebildet ist (Fig. 1A). |
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